EUV 光刻厂?芯片制造与光刻的工程技术与科学原理介绍

摘要

本文从产业工程角度,重点介绍芯片制造与光刻的一些相关技术细节,也介绍SSMB、EUV、同步辐射等相关的科学原理。了解足够的工程技术细节和科学原理之后,对于“光刻厂”这类有趣的设想,就能正确看待了。

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