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EUV 光刻厂？芯片制造与光刻的工程技术与科学原理介绍

摘要

本文从产业工程角度，重点介绍芯片制造与光刻的一些相关技术细节，也介绍SSMB、EUV、同步辐射等相关的科学原理。了解足够的工程技术细节和科学原理之后，对于“光刻厂”这类有趣的设想，就能正确看待了。

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xiaozi 于 2023-09-25 分享
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